FPD장비 전문업체인 순환엔지니어링(대표 정훈택 www.soonhan.com)은 올해 화인텍 재펜(FINETECH JAPAN 2010)에서 본격적인 제품 수주의 첫 테이프를 끊는다는 각오다.
순환엔지니어링은 이번 행사에서 올해 최고의 전략제품인 `고정밀 에어 베어링 스테이지 플랫폼`을 선보인다. 지난해 전시회에는 실제 수주 실적이 없었지만 제품 및 회사 홍보로 기반을 다진만큼 올해는 일본시장 진출의 기반을 닦을 실적을 끌어낸다는 계획이다. 특히 지난해 세계 경기악화가 주춤함과 동시에 일본 시장도 회복세에 접어들고 있어 이에 대한 기대가 어느때 보다 높다.
이번에 선보이는 고정밀 에어 베어링 스테이지 플랫폼은 고정밀 검사 분야에 적용이 가능한 제품으로 반도체, OLED, LCD 등 다양한 분야에 사용할 수 있다. 반복정밀도는 ± 0.1 마이크로미터 수준이며, 절대 정밀도도 ± 1 마이크로미터에 달한다. 정지 시 흔들림은 ± 0.03 마이크로미터 속도 편차는 ± 0.1%의 고정밀 석정반 구조다.
고강성 에어 베어링 설계 기술과 초정밀 제어 기술로 목표 성능을 구현할 수 있으며, 나노 단위 제어를 위해 스테이지가 사용될 설치 공간의 유입 진동을 분석한 후 진동 차단을 위한 아이솔레이트 제품 적용을 통해 스테이지의 정지 흔들림을 최소화 할 수 있다.
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